目前设备前端模块（EFEM）、大气机械手已全面导入市场量产使用。从动化股份无限公司已具有正在实空类晶圆传输和大气类晶圆传输系列产物的完全自从，将逐步实现由焦点零部件到集成产物的尺度化。新松半导体公司打制了具有完全自从的从动化焦点系列产物，
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